Multimaterial-Sputterkathoden für PVD-Prozesse

Multimaterial-Sputterkathoden für PVD-Prozesse
Auf- und Ausbau von Innovationszentren im Rahmen der nichtwirtschaftlichen Tätigkeit
Investition in Multimaterial-Sputterkathoden für PVD-Prozesse im Rahmen des Thüringer Zentrum für Maschinenbau (ThZM) – Partner GFE Schmalkalden
2022 IZN 0002

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