Entwicklung von hybriden PVD-Beschichtungen auf Mikrowerkzeugen zur Fräsbearbeitung von Superlegierungen

Der zentrale Aspekt ist die Entwicklung temperatur- und verschleißbeständiger PVD-Schichten für das Fräsen, speziell mit Mikrowerkzeugen, von Edelstahl und von nickelbasierten Superlegierungen. Die Herausforderungen bestehen hierbei hinsichtlich

• Herunterskalieren aller Prozessschritte auf Strukturen und Größen der Mikrowerkzeuge
• Erzeugung möglichst defektfreier Werkzeug-Oberflächen für hohe Bearbeitungsqualität und sicheren Spanfluss
• Schichtnachbehandlung für glatte Oberflächen
• Verbesserte Standzeit und hohe Prozesssicherheit